• 초저농도 (15ppt LOD) 의 붕소를 온라인 모니터링
• 멀티 4채널 지원으로 4개의 샘플을 하나의 장비로 측정
• 오염물 통제를 하는데 있어서 설비 관리자, 초순수 엔지니어, FAB 공정 엔지니어의 요구를 만족 시키는 장비

- 측정 범위 : 0.015 to 20 ppb (Precision : ± 3% or 0.005 ppb, Accuracy : ± 0.01 ppb B <0.05 ppb B , ± 15% >0.05 ppb B)
- 측정 방식 : 샘플과 Zero의 전도도 비교 방식
- 최소 샘플 저항 : 15MΩ/cm
- 교정 주기 : 1회/년
- 샘플 온도 : 15~40 ℃
- 샘플 압력 : 100 psig
- 샘플 사용량 : 0.1L ~ 0.5L/min
- 샘플 입자 : 15 micron sample pre-filtration
- 데이터 출력 : 4-20mA , RS-232 , Alarm Outputs, Isolated Binary Outputs